容性耦合等离子体(CCP)和电感耦合等离子体(ICP)

将腔体中的两个电极，一个加射频电流，另一个接地，由两电极之间的反应气体形成的等离子体被称为容性耦合等离子体(Capaciltively Coupled Plasma，CCP)。

高频电流经感应线圈产生高频电磁场，腔体内反应气体形成的等离子体被称为电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma，ICP)。